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一种蚀刻装置.pdfVIP

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  • 2023-11-25 发布于四川
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一种蚀刻装置.pdf

    本实用新型公开了一种蚀刻装置，涉及电化学蚀刻技术领域，包括机架和蚀刻槽，蚀刻槽设置于机架的侧面，蚀刻槽用于盛放蚀刻剂，还包括工件夹紧装置，工件夹紧装置设置于机架上，工件夹紧装置包括移动组件和夹紧组件；夹紧组件用于夹持工件；移动组件包括移动定位板，移动定位板设置于机架上，移动定位板上设置有驱动夹紧组件移动的连杆，移动定位板用于使得工件夹紧装置能够沿机架移动。本实用新型中的蚀刻装置采用可移动的工件夹紧装置，使得工件的蚀刻工作节拍与工件的运动相适应，工件在进行蚀刻时同时朝向下一工作节拍所在位置移动，使

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220079245 U (45)授权公告日 2023.11.24 (21)申请号 202321641070.6 (22)申请日 2023.06.26 (73)专利权人 上海苏古德智能设备有限公司 地址

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