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- 2023-11-25 发布于四川
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本申请公开了传输阀的真空测试装置及设备，包括腔体、顶板和侧板，所述腔体顶部设有供待测传输阀穿过的开口，所述顶板用于密封所述开口；所述腔体与所述传输阀长边接触侧壁上设有供所述传输阀出气口测试的测试缺口，所述侧板用于密封所述测试缺口；所述腔体侧壁还设有抽真空连接孔，所述抽真空连接孔与所述测试缺口的位置相对；所述腔体底部设有供所述传输阀的阀门尾端穿过的通孔。通过传输阀的真空测试装置模拟上机环境，从而检测阀门各部件之间的泄漏率，同时还通过该装置检测传输阀的真空度。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 220084280 U
(45)授权公告日 2023.11.24
(21)申请号 202321641214.8
(22)申请日 2023.06.27
(73)专利权人 无锡赛敏半导体科技有限公司
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