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本发明公开一种双级罗茨真空泵，包括泵体、中隔板和相啮合的两个罗茨转子部件，泵体沿轴线包括一级泵体和二级泵体，一级泵体设有一级转子腔、进气口以及排气通道，二级泵体设有二级转子腔、排气口以及进气通道，排气通道与进气通道连通，一级转子腔和二级转子腔分别贯穿各自所在泵体朝向另一泵体的一侧，一级转子腔和二级转子腔间通过中隔板分隔，中隔板上设有转子过孔，罗茨转子部件沿轴线包括一级罗茨转子体、中间轴体和二级罗茨转子体，一级罗茨转子体位于一级转子腔内，二级罗茨转子体位于二级转子腔内，中间轴体位于转子过孔内。本申
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117108503 A
(43)申请公布日 2023.11.24
(21)申请号 202310972294.3
(22)申请日 2023.08.03
(71)申请人 迈科微真空技术（苏州）有限公司
地
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