一种角度连续可变的单波长椭偏测量装置及测量方法.pdfVIP

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2023-11-25 发布于四川
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一种角度连续可变的单波长椭偏测量装置及测量方法.pdf

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本发明提供一种角度连续可变的单波长椭偏测量装置及测量方法，通过在起偏光路单元中设置的能够进行10～170°连续旋转的第一平板分光镜，使得经过起偏器偏振调制的入射偏振光束投射至待检测样品的角度发生连续改变，且角度连续改变的入射偏振光束经过待检测样品后，在经过检偏光路单元上的第二平板分光镜或者平面反射镜后能够重新汇聚并进入检偏器中，从而使得反射偏振光束进入到光探测单元中，并根据此反射偏振光束的信号强度进行计算，并根据计算结果进行曲线拟合以得到待检测样品的信息，使得对于单波长的光也能够利用连续变化的入

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117110205 A (43)申请公布日 2023.11.24 (21)申请号 202311079458.6 (22)申请日 2023.08.24 (71)申请人晶诺微（上海）科技有限公司地址