对衬底区域上的测量数据进行建模的方法及相关联的装置.pdfVIP

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2023-11-25 发布于四川
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对衬底区域上的测量数据进行建模的方法及相关联的装置.pdf

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一种用于确定衬底模型的方法，该衬底模型用于描述与性能参数相关的第一测量数据集和第二测量数据集。该方法包括获得针对多个衬底模型的候选基函数。针对所述第一测量数据集和所述第二测量数据集迭代执行步骤1至4，直到满足至少一个停止准则，以便确定所述衬底模型，所述步骤包括：1.从所述候选基函数中选择候选基函数；2.通过将候选基函数添加到该衬底模型中来更新衬底模型以获得更新后的衬底模型；3.基于所述第一测量数据集和所述第二测量数据集中的至少一个来评估更新后的衬底模型；以及4.基于评估来确定是否将基函数包括在衬

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117120933 A (43)申请公布日 2023.11.24 (21)申请号 202280026961.2 D ·F ·S ·德克尔斯　S ·古勒　