预处理机气路系统及预处理机.pdfVIP

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2023-11-29 发布于四川
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本实用新型涉及物理吸附技术领域，具体提供一种预处理机气路系统及预处理机，旨在解决现有技术中的预处理机脱气效率低的问题。为此目的，本实用新型的预处理机气路系统，包括样品管；进气气路，进气气路与样品管连通，进气气路上设置有第一阀体；第一排气支路，第一排气支路与样品管连通，第一排气支路上设置有第二阀体；第二排气支路，第二排气支路与样品管连通，第二排气支路上设置有第三阀体；控制器，第一阀体、第二阀体、第三阀体均与控制器连接。预处理机包括预处理机气路系统。本实用新型的预处理机气路系统通过同时设置两个排气支

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220104626 U (45)授权公告日 2023.11.28 (21)申请号 202322846708.6 (22)申请日 2023.10.24 (73)专利权人天津精微高博仪器有限公司地址