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晶圆缓存装置及CMP设备.pdfVIP

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  • 2023-11-29 发布于四川
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晶圆缓存装置及CMP设备.pdf

    本发明涉及一种晶圆缓存装置及CMP设备，晶圆缓存装置包括缓存座、升降机构及承载机构。缓存座形成有缓存腔，缓存腔用于容纳液体。升降机构可驱动承载机构相对于缓存座升降，以将承载机构上的晶圆移入或移出缓存腔。缓存腔能够容纳液体以形成水环境，晶圆移入缓存腔后便能够保持湿润状态。而在需要取用晶圆时，由承载机构带动晶圆移出缓存腔即可。在对晶圆进行取放时，可将承载面切换至水平状态。在将晶圆移入或移出缓存腔的过程中，则可将承载面切换至倾斜状态以使晶圆倾斜。此时，晶圆能够倾斜入水或出水，从而减小液面对晶圆的阻力，

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117124233 A (43)申请公布日 2023.11.28 (21)申请号 202311325336.0 H01L 21/677 (2006.01) (22)申请日 2023.10

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