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本发明涉及可靠性测试技术，公开了一种老化试验中器件热学参数的测试方法和装置；包括烘箱和表征器件；热学参数测试的方法包括：环境参数的采集，环境参数包括烘箱温度Ta和表征器件的温度敏感参数vce；热学参数R1的获取，在固定条件下，通过热学参数R1与温度敏感参数vce的关系，从而获取热学参数R1；热学参数R2的获取，通过对表征器件加载高压，依据热学参数R1与漏电流Ir的关系，从而获取热学参数R2。本发明采用的测试方法进行表征器件的热学参数检测，其准确性高、成本低，效率快，同时能够在老化过程中，实时计算
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115078868 A
(43)申请公布日 2022.09.20
(21)申请号 202210649661.1
(22)申请日 2022.06.10
(71)申请人 杭州中安电子有限公司
地址 311
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