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一种分数阶微积分模型的射频阻抗匹配装置及控制方法.pdfVIP

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  • 2023-11-29 发布于四川
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一种分数阶微积分模型的射频阻抗匹配装置及控制方法.pdf

    本申请公开了一种分数阶微积分模型的射频阻抗匹配装置及控制方法，所述装置包括传感器模块、分数阶控制器、驱动模块以及可变阻抗电路；本发明将分数阶电容和分数阶电感引入阻抗匹配网络，建立阻抗匹配网络的分数阶模型，相对于传统PID控制算法增加了积分项分数阶因子和微分项分数阶因子两个参数，能够有效抑制系统非线性因素和不确定干扰对系统性能的影响，由于建立了阻抗匹配网络的分数阶微积分模型，同时结合分数阶PID控制器的闭环控制方式，实现了匹配网络的输入阻抗与射频源内阻抗相等，使系统具有更高精度，更加快速地达到阻抗

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117134732 A (43)申请公布日 2023.11.28 (21)申请号 202311398428.1 (22)申请日 2023.10.26 (71)申请人 深圳市恒运昌真空技术有限公司 地址

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