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- 2023-11-29 发布于四川
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本申请属于显示领域，具体涉及一种显示面板的制作方法及显示面板，制作方法包括：依次形成栅极、信号线、栅绝缘膜层、半导体膜层和第一光刻胶层，利用半透掩膜板曝光显影第一光刻胶层形成遮挡栅极的第一图案和遮挡信号线的第二图案，第二图案至少部分区域的厚度小于第一图案的厚度，再刻蚀第一光刻胶层、半导体膜层和栅绝缘膜层形成第三图案和第四图案，第四图案至少暴露信号线的一部分，再形成源漏极和金属走线，金属走线与信号线连接。本申请利用半透掩膜板曝光第一光刻胶层，使第二图案至少部分区域的厚度小于第一图案的厚度，再刻蚀暴
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117130199 A
(43)申请公布日 2023.11.28
(21)申请号 202311108850.9
(22)申请日 2023.08.30
(71)申请人 长沙惠科光电有限公司
地址 41
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