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本发明公开了一种柱塞式微小流量标准装置。本发明中上位机控制系统驱动控制器,精准实现伺服电机3运转;伺服电机3以1:50比例搭配减速组5作为动力源和涡轮丝杆7联动,实现大转速到小位移的精确控制且有效解决伺服电机3低速爬行问题。本发明中柱塞结合型活塞14能有效提高量程宽度,与滑轨8上端安装联动组件和底座的固定能带动活塞缸145内的柱塞柱148产生位移形成标准体积。本发明中滑台9右侧安装光电开关6,预警滑轨8超出量程;滑轨8左侧安装光栅尺头10,带动光栅尺头10记录滑轨8位移。本发明实现了微小流量标准
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117146939 A
(43)申请公布日 2023.12.01
(21)申请号 202311205746.1
(22)申请日 2023.09.19
(71)申请人 中国计量大学
地址 310018
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