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一种硅片扩散用石英舟清洗装置.pdfVIP

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  • 2023-12-02 发布于四川
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一种硅片扩散用石英舟清洗装置.pdf

    本实用新型公开的一种硅片扩散用石英舟清洗装置，包括底板，所述底板上表面中心处固定连接有驱动电机，所述驱动电机输出端固定连接有转杆，所述转杆上端固定连接有上端呈开口状设置的清洗箱，本实用新型通过连接杆在不接触石英舟的情况下降限位箱和石英舟放置在清洗箱内部，避免在清洗后取出接触受伤，驱动电机和转杆带动清洗箱转动增加药液和石英舟的接触效率，增加反应效率，便于后期清理，空心管和若干根加压管可以将注入的气体进行加压排除形成密集气泡增加液体和石英舟之间相互反应摩擦，增加清洗效率，在后期内部药液排除后通过离心

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220111791 U (45)授权公告日 2023.12.01 (21)申请号 202320753012.6 (22)申请日 2023.04.07 (73)专利权人 浙江泓芯半导体有限公司 地址

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