一种管道防堵疏通装置及方法.pdfVIP

下载本文档

2
0
约1.24万字
约 13页
2023-12-02 发布于四川
举报
版权申诉

一种管道防堵疏通装置及方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明涉及半导体尾气处理技术领域，且公开了一种管道防堵疏通装置及方法，该管道防堵疏通装置及方法，包括机台，所述机台左侧顶部弧形内壁固定连接半导体反应炉底端弧形外壁，所述半导体反应炉底部固定安装有出料口，所述半导体反应炉顶端左侧弧形侧壁固定安装有进料口。该管道防堵疏通装置及方法，为了更好地在防堵疏通的同时方便对滤板进行更换，通过设置有拦截机构，当废气通过滤板时，内部的颗粒物会被其拦截，从而配合收集组件起到了防堵疏通的效果，进一步地，配合固定盒、卡槽、卡块、斜面柱、双耳圆块、贴紧弹簧、细杆、连杆以及

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117138468 A (43)申请公布日 2023.12.01 (21)申请号 202311015088.X (22)申请日 2023.08.14 (71)申请人上海高笙集成电路设备有限公司地址