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2023-12-02 发布于四川
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基板限制组件及门板装置.pdf

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一种基板限制组件及门板装置，门板装置包含门体以及基板限制组件。基板限制组件设置于门体的一侧。基板限制组件包含限制器本体以及多个限制件。限制件设置于限制器本体上，并呈间隔排列。每一限制件包含两弹性臂以及夹持结构。夹持结构包含夹持本体、夹持槽以及至少一让位部。夹持本体连接于两弹性臂之间。夹持槽位于夹持本体上，并与弹性臂的相邻端连通。让位部与夹持槽相连通。借此，整体的基板限制组件可有效避免晶圆因预压量过大而产生裂痕、破损等问题。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117153743 A (43)申请公布日 2023.12.01 (21)申请号 202310564705.5 (51)Int.Cl .