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本发明涉及一种高精度缺陷检测方法，其通过光源对被摄物体照明；检测物镜收集到的信号，在探测器上获取缺陷图像；搭载样品进行扫描，并进行小视场检测；对缺陷图像进行模型训练，完成缺陷的识别及分类。由此，通过可控制的多光谱多方向光源，可以在单个工位对多类缺陷有效成像，可扩展性强，检测效率高。可通过延时积分相机，对散射类型缺陷进行有效成像，能提高图像质量和缺陷检出率。设与独立的防震平台，可以满足高精度检测和扫描成像需求。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117147558 A
(43)申请公布日 2023.12.01
(21)申请号 202311097343.X
(22)申请日 2023.08.29
(71)申请人 江苏集萃中科先进
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