一种基于微线圈的全数字式涡流栅传感器.pdfVIP

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2023-12-02 发布于四川
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一种基于微线圈的全数字式涡流栅传感器.pdf

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本实用新型提出一种全数字式涡流栅传感器，由定尺和动尺两部分组成，二者面对面叠合在一起，并保持有一定间隙。定尺上各个码道上的反射导体是按照绝对编码的方法和码制进行布置的，所有的反射导体均采用PCB工艺制作，从而可以实现位移的绝对编码。动尺上表面嵌入多个微型线圈，通过在对应码道上的反射导体上产生的电涡流效应获取电信号；线圈是采用MEMS等微工艺制作的微型线圈，尺寸小，从而可以实现更多码道，提高测量精度。动尺之上布置有测量电路，位于线圈的一侧，为线圈提供激励信号，同时产生输出电信号，并通过计算得出位移

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220120017 U (45)授权公告日 2023.12.01 (21)申请号 202320531307.9 (22)申请日 2023.03.18 (73)专利权人上海钊晟传感技术有限公司地址