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一种一体式晶圆清洗干燥设备.pdfVIP

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  • 2023-12-02 发布于四川
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一种一体式晶圆清洗干燥设备.pdf

    本发明提供了一种一体式晶圆清洗干燥设备，包括：清洗槽本体以及干燥组件，干燥组件包括盖体和喷气组件，清洗槽本体内安装晶圆清洗篮，盖体设置于清洗槽本体的槽口上方，喷气组件连接于盖体朝向清洗槽本体内部一侧，喷气组件向晶圆清洗篮中排布的若干晶圆喷出干燥气体；盖体侧壁连接驱动组件，盖体与晶圆清洗篮之间设置联动组件，驱动组件拉动盖体扣合于清洗槽本体的槽口处，联动组件抬起晶圆清洗篮长度方向一侧以使若干排布于晶圆清洗篮内的晶圆的圆心处连线与清洗槽本体的长度方向之间具有夹角。本发明用以解决现有技术中一体式晶圆清洗

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117153741 A (43)申请公布日 2023.12.01 (21)申请号 202311433854.4 (22)申请日 2023.11.01 (71)申请人 苏州智程半导体科技股份有限公司 地

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