原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及微通道板技术领域，公开一种基于脉冲飞秒激光加工微孔阵列并制作微通道板的方法，包括：采用脉冲飞秒激光在透明基片上进行激光改性制作出微孔阵列基底，或者通过激光改性与化学蚀刻结合，制作出微孔阵列基底；在加工好的微孔阵列基底的通道内壁制作复合纳米功能膜层，使通道内壁同时具有导电能力与二次电子发射能力；在微孔阵列基底的输入面和输出面，以及对应朝向通道内壁延伸的深度方向镀制金属电极膜层。本发明提出工艺方法能够替代传统微通道板的制备技术，并相对传统工艺来说在制备效率、可控性上具有大幅的提升。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117139874 A
(43)申请公布日 2023.12.01
(21)申请号 202311039972.7 B23K 26/0622 (2014.01)
(22)申请日 2023.0
文档评论（0）