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本实用新型提供一种PECVD镀膜载板，包括支撑框和对支撑框进行承载的载板框架；载板框架包括第一边框、第二边框、第三边框、第四边框和连接块；支撑框包括横杆和竖杆，横杆与竖杆相互交织形成若干镂空部，镂空部上设有承载面；第一边框、第二边框、第三边框和第四边框的各个连接处设有连接块；连接块的下表面设有减震板，减震板与连接块之间形成有间隙，减震板靠近连接块的一面设有固定块，连接块与减震板相邻的一面上设有固定槽，固定块与固定槽相对应；固定块上套设有弹簧，弹簧的另一端嵌入固定槽；通过边框的减震板与弹簧起到减震
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 220121794 U
(45)授权公告日 2023.12.01
(21)申请号 202321638333.8
(22)申请日 2023.06.27
(73)专利权人 福建金石能源有限公司
地址 3
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