一种晶圆高动态光谱成像3D检测系统.pdfVIP

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2023-12-02 发布于四川
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一种晶圆高动态光谱成像3D检测系统.pdf

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本发明公开的一种晶圆高动态光谱成像3D检测系统，包括并列设置的上料机与检测机；上料机一侧设置有载片平台，载片平台上设置有晶圆；上料机内部设置有机械手与校验平台，校验平台设置在机械手的一侧；检测机内部设置有检测组件，检测组件包括检测平台以及设置在检测平台上方的光谱共聚焦探测头；机械手将晶圆抓取放至校验平台，校验完成后，再次通过机械手抓取放至检测平台上，光谱共聚焦探测头对检测平台的晶圆进行光谱成像检测；通过自动上下料自动校验平台校验，自动检测机检测多图像产品颜色信息，三维高度信息，表面反射系数信息，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117153709 A (43)申请公布日 2023.12.01 (21)申请号 202311086180.5 H01L 21/687 (2006.01)