磁隧道结及其制备方法.pdfVIP

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2023-12-02 发布于四川
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磁隧道结及其制备方法.pdf

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本发明提供一种磁隧道结及其制备方法。该磁隧道结包括：多个依次堆叠设置的耦合层，用于提高垂直磁各向异性，固定参考铁磁层的磁化方向；设置在耦合层上的参考铁磁层，具有固定的磁化方向；设置在铁磁参考层上的第一氧化势垒层；设置在第一氧化势垒层上的自由铁磁层结构，自由铁磁层结构的磁化方向与参考铁磁层结构的磁化方向平行或反平行，具有响应于外部电场的磁化方向。本发明可以增加磁隧道结参考层的热稳定性、高隧穿磁阻率和高自旋转移效率，降低膜层的设计复杂性和成本。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117156955 A (43)申请公布日 2023.12.01 (21)申请号 202310998564.8 (22)申请日 2023.08.09 (71)申请人北京航空航天大学地址 1001