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本发明公开了一种镀膜组件、蒸镀机及蒸镀方法，涉及显示技术领域。所述镀膜组件包括：机械叉，其用于移动基板，包括连接杆和多个平行设置的支撑杆，多个所述支撑杆用于支撑基板；掩膜板，其用于限定基板的蒸镀区域，其设有用于容纳支撑杆的支撑槽。本发明提供的镀膜组件，通过设置具有多个支撑杆的机械叉，多个支撑杆可从基板底部多个位置向上支撑基板，因此可避免基板弯曲变形，可使对位更为方便快捷且精准；通过设置具有支撑槽的掩膜板，该支撑槽可容纳支撑杆，因此可在对位时使基板更贴近掩膜板，便于对位。采用该镀膜组件的蒸镀机，具
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117144299 A
(43)申请公布日 2023.12.01
(21)申请号 202311079530.5
(22)申请日 2023.08.24
(71)申请人 季华实验室
地址 528200
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