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本发明提供一种直写光刻数据处理方法与系统，其直写光刻数据处理方法主要将原始矢量图按照使用的存储单元数量做条形切片得到相应于并行处理通道数量的切片，按照预设分辨率以及倾斜因子N对所述切片做栅格化处理，得到相应于该并行处理通道的分片栅格化数据，然后做倾斜处理，使相应的分片栅格化数据沿切片方向倾斜，并使之依次拼接后其分片栅格化数据各扫描列起点沿倾斜直线对齐。本发明实现了栅格化、倾斜化的并行处理及对存储单元的读写并行处理，其并行过程相互独立的，实现数据链路处理速度可达多倍存储单元的读写带宽。避免了现有技
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117148683 A
(43)申请公布日 2023.12.01
(21)申请号 202311087585.0
(22)申请日 2023.08.28
(71)申请人 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
地
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