第六章 电离子束加工.pptxVIP

第一节 电子束加工;第一节 电子束加工;第一节 电子束加工;第一节 电子束加工;第一节 电子束加工;第一节 电子束加工;第一节电子束加工;第一节电子束加工 4.电子束加工的应用;第一节电子束加工;第一节电子束加工;第一节电子束加工;第二节离子束加工;第二节 离子束加工一 离子束加工原理、分类和特点;第二节 离子束加工一 离子束加工原理、分类和特点;⒉离子束加工分类 离子束加工按照其所利用的物理效应和达到目的的不同，可以分为四类： ⑴离子刻蚀 ⑵离子溅射沉积 ⑶离子镀 ⑷离子注入 离子刻蚀，离子溅射沉积和离子镀：利用离子撞击和溅射效应 离子注入： 利用注入效应的离子注入。;第二节 离子束加工;⒊离子束加工的特点 ⑴离子束加工是所有特种加工方法中最精密、最微细的加工方法，是纳米加工技术的基础。 ⑵污染少，特别适用于对易氧化的金属、合金材料和高纯度半导体材料的加工。 ⑶加工应力、热变形等极小，加工质量高，适合于对各种材料和低刚度零件的加工。 ⑷离子束加工设备费用贵、成本高，加工效率低，应用范围受到一定限制。;第二节 离子束加工;三 离子束加工的应用 ⒈离子刻蚀加工： 用于从工件上作去除加工的离子刻蚀加工； ⒉离子镀膜加工： 用于给工件表面涂覆的离子镀膜加工； ⒊离子注入加工： 用于表面改性的离子注入加工。;三 离子束加工的应用 ⒈刻蚀加工 离子刻蚀是从工件上去除材料，是一个撞击溅射过程。