SEM-EDS扫描电镜和能谱仪（72页）.pptxVIP

SEM/EDS構造與原理探討掃描式電子顯微鏡的構造與原理能量散射光譜儀的構造與原理 介紹大綱一.前言二.電子顯微鏡的發展三.電子顯微鏡的種類四.掃描式電子顯微鏡的原理五.掃描式電子顯微鏡的構造六.電子顯微鏡對試片的作用七.電子顯微鏡的應用範圍八.EDS硬體架構與處理方式介紹九.EDS功能介紹 一.前言什麼是顯微鏡:- 顯微鏡是一種用來將微小物體放大以便利觀察的器具。 1873 Abbe 和Helmholfz 分別提出解像力與照射光的波長成反比。 奠定了顯微鏡的理論基礎。1897 J.J. Thmson 發現電子1924 Louis de Broglie （ 1929 年諾貝爾物理獎得主） 提出電子本身具有波動的物理特性， 進一步提供電子顯微鏡的理論基礎。 1926 Busch 發現電子可像光線經過玻璃透鏡偏折一般， 由電磁場的改變而偏折。 1931 德國物理學家Knoll 及Ruska 首先發展出穿透式電子顯微鏡原型機。 1937 首部商業原型機製造成功（ Metropolitan Vickers 牌） 。二.電子顯微鏡發展 二.電子顯微鏡發展1938 第一部掃描電子顯微鏡由Von Ardenne 發展成功。1938-39 穿透式電子顯微鏡正式上市（ 西門子公司, 50KV~100KV, 解像力20~30 ?） 。1940-41 RCA 公司推出美國第一部穿透式電子顯微鏡(解像