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2023年化合物半导体的外延生长设备相关项目运行指导方案.docxVIP

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  • 2023-12-06 发布于河北
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2023年化合物半导体的外延生长设备相关项目运行指导方案.docx

    化合物半导体的外延生长设备相关项目运行指导方案

    PAGE1

    化合物半导体的外延生长设备相关项目运行指导方案

    目录

    TOC\h\z17014前言 3

    13083一、化合物半导体的外延生长设备概述 3

    9566(一)、化合物半导体的外延生长设备项目名称及建设性质 3

    12213(二)、化合物半导体的外延生长设备项目承办单位背景分析 4

    9278(三)、战略合作单位 4

    10026(四)、化合物半导体的外延生长设备项目提出的理由 4

    27450(五)、化合物半导体的外延生长设备项目选址及用地综述 5

    11578(六)、土建工程建设指标 6

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