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本发明公开了一种高对比度石英晶圆对准标记及其制作方法。该对准标记为十字型对准标记，所述对准标记包括竖向标记和位于竖向标记两侧的横向标记，所述竖向标记和横向标记均包括感光结构，所述竖向标记的感光结构包括排列方向一致的数个感光三角形；所述横向标记的感光结构包括数个感光三角形，且位于竖向标记两侧的横向标记的感光三角形的排列方向相反。本发明提供的高对比度石英晶圆对准标记及其制作方法，不需要对现有接近式光刻机设备进行调整及改造，有效提升了对准标记边缘形貌的对比度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117170201A
(43)申请公布日2023.12.05
(21)申请号202311033175.8
(22)申请日2023.08.16
(71)申请人成都泰美克晶体技术有限公司
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