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2023-12-06 发布于四川
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一种三轴运动平台垂直度测量装置及方法.pdf

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本发明公开了一种三轴运动平台垂直度测量装置及方法，所述装置包括激光器、3个五角分光棱镜、5个五角棱镜、4个直线度干涉镜、4个直线度反射镜和4个干涉信号接收器，激光器发射的激光束经过第1五角分光棱镜分为第1路光束和第2路光束，第1路光束测量z向平动轴x向的直线度；第2路光束经过第2五角分光棱镜分为第3路光束和第4路光束，第3路光束测量z向平动轴y向的直线度；第4路光束经过第3五角分光棱镜分为第5路光束和第6路光束，第5路光束测量y向平动轴的直线度，第6路光束测量x向平动轴的直线度。本发明能够低成本

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117168362A

(43)申请公布日2023.12.05

(21)申请号202311450420.5(51)Int.Cl.

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