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本发明提供一种含反向耦合器的光学相控阵芯片、系统与校准方法,用以实现节省芯片尺寸,光学相控阵芯片包括:m级分光部,每级分光部包括分光器组和光波导分支组;第m级光波导分支组包括路第一光波导分支,用于传输所述个通道的输出信号;第m级光波导分支组中每路第一光波导分支设有一热光移相器,且第m级光波导分支组中每路光波导分支的末端连接有一发射器;第m级光波导分支组中每路光波导分支的上层或下层设有至少一个反向耦合器,两路第一光波导分支上的反向耦合器通过两路第二光波导分支合光形成一干涉仪结构,干涉仪结构用于将合
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117170156A
(43)申请公布日2023.12.05
(21)申请号202311450751.9
(22)申请日2023.11.03
(71)申请人赛丽科技(苏州)
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