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2023-12-06 发布于四川
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电致动器件、制造方法及控制器件.pdf

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本发明提供一种电致动器件、制造方法及控制器件，包括从上到下顺序配置的可动结构层、衬底和电连接层；可动结构层被悬置于衬底上方，在控制信号下进行偏转；衬底上表面构造有凹槽，凹槽内具有倾斜的内侧壁；电连接层配置成分别与内侧壁和可动结构层电连接；可动结构层被配置为第一极板，内侧壁被配置为第二极板；凹槽为极板的偏转提供了自由空间，使偏转角度大幅度提高；同时，凹槽内倾斜的内侧壁极板与器件极板之间的间距增加程度较小，有利于获得较大的静电驱动力；且随着可动结构层的偏转，两极板的平均间距不断减小，进一步提高了驱动

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117163913A

(43)申请公布日2023.12.05

(21)申请号202311076931.5

(22)申请日2023.08.24

(71)申请人清华大学

地址100084

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