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一种用于面蒸发源的冷却缓存室及驱动方法.pdfVIP

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  • 2023-12-06 发布于四川
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一种用于面蒸发源的冷却缓存室及驱动方法.pdf

    本发明公布一种用于面蒸发源的冷却缓存室及驱动方法，包括CDA系统、冷却室、冷却装置和可伸缩夹持装置；所述CDA系统通过通入管道连接所述冷却室，所述CDA系统用于通入压缩气体来对金属薄片降温；所述冷却室还设置有排出管道，所述排出管道用于排出CDA系统通入的压缩气体；所述冷却室设置有阀门，所述可伸缩夹持装置和所述冷却装置设置在所述冷却室中；所述可伸缩夹持装置用于夹取金属薄片到冷却装置上；所述冷却装置包括下冷却板，所述下冷却板用于承载金属薄片并对其冷却上述技术方案可以确保蒸镀膜层的厚度和膜层的均匀性，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN112095078A

    (43)申请公布日2020.12.18

    (21)申请号202011017203.3

    (22)申请日2020.09.24

    (71)申请人福建华佳彩有限公司

    地

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