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文件als130h系列机械轴承直线电机平台双向重复性达75nm.pdfVIP

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  • 2023-12-07 发布于北京
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文件als130h系列机械轴承直线电机平台双向重复性达75nm.pdf

    ALS130HSeries

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    eMechanicalBearing,LinearMotorStage

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    eBi-directionalrepeatabilityto75nm

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    sDirect-drivelinearmotorforultra-precise

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