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用于处理腔室中的特征和故障检测的波特指纹法.pdfVIP

用于处理腔室中的特征和故障检测的波特指纹法.pdf

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    一种非暂态计算机可读储存介质储存指令，所述指令在由诊断服务器的处理装置执行时使此处理装置执行某些操作。所述操作包括从处理腔室接收(i)组合信号的测量值，所述组合信号基于将交流信号波注入至处理腔室的控制器的第一输出信号上，及(ii)结合来自处理腔室的反馈的控制器的第二输出信号的测量值。所述操作进一步包括基于组合信号的测量值及控制器的第二输出信号的测量值，产生关于处理腔室相关状态的基线波特指纹。所述操作进一步包括在计算机储存器中储存将用于执行处理腔室的诊断的基线波特指纹。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117174564A

    (43)申请公布日2023.12.05

    (21)申请号202310960792.6

    (22)申请日2021.04.02

    (30)优先权数据

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