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本发明涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种用于扩散炉的炉门结构，包括炉门门体和炉门驱动机构，炉门门体包括炉门支撑板、炉门支撑轴、限位转轴、向心关节轴承、铝门、连接板和石英门，炉门驱动机构包括底板、2个滑杆组件、支撑板、无杆气缸、滑轨组件、炉门连接杆、第一气缸、第二气缸、第一气缸连接块、第二气缸连接块、第一限位块、2个第一限位开关、第二限位块和2个第二限位开关；本案炉门门体结构简单，密封性能好；炉门驱动机构占用空间减小，且行程控制精准；当扩散炉采用该炉门结构时，炉门门体的密封性能能够达到工艺要
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN109373763A
(43)申请公布日
2019.02.22
(21)申请号20181
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