一种制备纳米氮化镓薄膜的设备及方法.pdfVIP

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2023-12-06 发布于四川
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一种制备纳米氮化镓薄膜的设备及方法.pdf

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本发明提供了一种制备纳米氮化镓薄膜的设备及方法，包括：容纳组件，容纳组件包括封闭设置的第一容器以及设置于第一容器内部且非封闭设置的第二容器；提拉组件，提拉组件穿设连接第一容器，其包括设置于第二容器内部且沿本设备高度方向升降的基底夹；连通组件，连通组件包括连通第二容器的导入机构以及连通第一容器的导出机构。方法具体包括如下步骤：S1、在衡压条件下向容纳组件内部导入NH3分子和液态镓，其中，NH3分子位于第一容器内，液态镓位于第二容器内，以此创建反应空间；S2、将基底置于反应空间中使其反复浸渍液态镓，

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117165939A

(43)申请公布日2023.12.05

(21)申请号202311418733.2

(22)申请日2023.10.30

(71)申请人苏州大学

地址215000

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