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物理量传感器、电子设备以及移动体.pdfVIP

物理量传感器、电子设备以及移动体.pdf

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    本申请公开了具有优异的检测灵敏度的物理量传感器、电子设备以及移动体。本发明的物理量传感器具有：基板，将沿着Z轴的方向作为厚度方向；以及传感器元件，设置于所述基板，并检测物理量，所述传感器元件具有：可动部，相对于所述基板在沿着作为所述物理量的检测轴的所述X轴的方向上位移；以及固定电极，固定于所述基板，所述可动部具有：可动电极，与所述固定电极在沿着所述X轴的方向上相对配置；以及质量部，支承所述可动电极，沿着所述Z轴的方向的长度比所述可动电极长。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN111190027A

    (43)申请公布日

    2020.05.22

    (21)申请号20191

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