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本发明公开了一种太赫兹等离子体阵列指纹谱传感装置。该指纹谱传感装置基于衬底来构建，在衬底上划设等离子体单元阵列，在等离子体单元阵列中的每个单元中密集布置十字槽晶胞；在等离子体单元中，密集布置的十字槽晶胞构成十字槽晶胞互补阵列；等离子体单元阵列中等离子体单元的十字槽晶胞的单位长度依据对角单向递变的形式来设置；在等离子体单元阵列中，各个等离子体单元中的十字槽晶胞的单位长度在47μm至104μm的范围内均匀离散设置。本发明的指纹谱传感装置，其中设置了互补十字型结构，由于这种结构能够激发等离子体局域场模
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117191746A
(43)申请公布日2023.12.08
(21)申请号202311156729.3
(22)申请日2023.09.08
(71)申请人上海理工大学
地址200093
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