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本发明公开一种光束漂移补偿的机床导轨五自由度误差测量装置及方法，装置包括由激光器、四分之一波片、第一分光镜、第一反射镜、第二分光镜、第三分光镜、第四分光镜、第一四象限探测器、第一凸透镜、第一位置敏感探测器、第二反射镜、第五分光镜、第二四象限探测器、第二凸透镜、第二位置敏感探测器、第三凸透镜、第三位置敏感探测器构成的固定端，由第一角锥反射镜、半透半反镜、第二角锥反射镜、偏振分光镜、第一光电二极管、第二光电二极管构成的移动端；误差测量装置使用时固定端固定安装在数控机床待测轴的固定位置，移动端安装在数
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117190938A
(43)申请公布日2023.12.08
(21)申请号202311085796.0
(22)申请日2023.08.28
(71)申请人天津大学
地址300072
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