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本发明属于分子泵技术领域,具体涉及一种分子泵转子内部压力平衡机构,包括泵壳体,所述泵壳体的内部可拆卸连接有电机,所述电机的输出轴上固定连接有输气装置,所述输气装置的顶部固定连接有防护通气组件,所述输气装置的内部设置有抬升装置。该分子泵转子内部压力平衡机构通过抬升装置与防护通气组件的使用,使电机的输出轴在带动转轴进行转动时,能够带动转子进行转动,进而使定杆进行转动,在离心力的作用下,能够使滚球挤压滑环,带动横杆向顶杆的方向移动,能够使顶杆带动防护盖上升,使转子外部的空气能够与转子内部的空气进行流通
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117189627A
(43)申请公布日2023.12.08
(21)申请号202311127129.4
(22)申请日2023.09.04
(71)申请人上海富玖帕精密设备有限公司
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