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一种可见光激发气体传感器及其制备方法和应用.pdf

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    本发明涉及气体传感器技术领域，尤其涉及一种可见光激发气体传感器及其制备方法和应用。本发明提供了一种可见光激发气体传感器，包括依次层叠设置的衬底和半导体微纳阵列结构薄膜；所述半导体微纳阵列薄膜的表面修饰贵金属纳米颗粒；所述贵金属纳米颗粒的LSPR共振峰的波长与所述可见光激发气体传感器的可见激发光的波长重合；所述半导体微纳阵列结构薄膜的光子带隙的带边与所述贵金属纳米颗粒的LSPR光谱的共振峰重合。所述可见光激发气体传感器利用光子带隙效应提高贵金属纳米颗粒LSPR激发效率，进而提高气体的检测灵敏度；同

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117191890A

    (43)申请公布日2023.12.08

    (21)申请号202311133604.9

    (22)申请日2023.09.04

    (71)申请人东莞理工学院

    地址523808

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