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单晶硅的掺杂设备以及掺杂方法.pdfVIP

单晶硅的掺杂设备以及掺杂方法.pdf

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    本发明提供一种单晶硅的掺杂设备以及掺杂方法，单晶硅的掺杂设备包括：单晶炉以及掺杂装置。单晶炉设有第一开口；掺杂装置包括外壳以及掺杂组件，外壳穿设于第一开口，掺杂组件设置于外壳内，且掺杂组件穿设于外壳，掺杂组件设有第二开口，当掺杂组件穿设于外壳时，在第一穿设范围内，第二开口处于第一状态，在第二穿设范围内，第二开口处于第二状态。本发明的单晶硅的掺杂设备能够提高单晶硅的掺杂效率。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117210930A

    (43)申请公布日2023.12.12

    (21)申请号202311427792.6

    (22)申请日2023.10.31

    (71)申请人甘肃瓜州宝丰硅材料开发有限公司

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