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一种用于热式质量流量控制器的气体质量流量校准方法.pdfVIP

一种用于热式质量流量控制器的气体质量流量校准方法.pdf

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    本发明涉及一种用于热式质量流量控制器的气体质量流量校准方法，包括以下步骤：1)在高压工作的状态下，首先把被检表前端压力调大，把流量调节阀置于被检表的后端；2)接着在气源出口安装压力计，然后连接被检表，再连接流量调节阀，最后连接标准器；3)通过减压阀调节，观察压力计的示数，使热式气体质量流量计的进口压力达到目标值。该用于热式质量流量控制器的气体质量流量校准方法，针对特殊工作状态下的热式气体质量流量计，提出了高压工作状态下的流量计校准方法，比较了不同气体介质下的实际转换系数和理论转换系数，给出单组份

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117213593A

    (43)申请公布日2023.12.12

    (21)申请号202311146769.X

    (22)申请日2023.09.07

    (71)申请人东京计装（漳州）仪表有限公司

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