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聚光透镜对离子束进行加工，以使其成为平行射束形状，在聚光透镜与物镜之间具备电动光圈，该电动光圈改变由聚光透镜加工后的离子束的通过面积来控制射束直径，具备多个射束遮挡板单元，该射束遮挡板单元由一对射束遮挡板构成，该一对射束遮挡板以从两侧夹着通过了聚光透镜的离子束的方式对置且能够沿着与离子束的光轴呈直角的方向进行移动，多个射束遮挡板单元包围离子束且设定离子束的通过离子束直径，多个射束遮挡板单元沿着离子束的光轴方向彼此偏置。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117223083A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202280031637.X(74)专利代理机构北京同达信恒知识产权代理
(22)申请日2022.02.
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