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一种用于辉光放电镀膜的辅助阴极装置及镀膜设备.pdfVIP

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  • 2023-12-13 发布于四川
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一种用于辉光放电镀膜的辅助阴极装置及镀膜设备.pdf

    本实用新型公开了一种用于辉光放电镀膜的辅助阴极装置及镀膜设备，装置包括：多个辅助阴极；所述辅助阴极沿周向设于作为阴极的镀膜转架上，所述镀膜转架上沿周向设有多个挂杆，所述辅助阴极位于所述挂杆的内侧，且所述辅助阴极与所述挂杆在所述镀膜转架上的设置高度对应，以通过调节所述辅助阴极与所述挂杆之间的距离，调节辉光放电镀膜时沿高度方向上的电场分布。本实用新型可实现对装载于挂杆上不同高度位置的镀膜件的膜厚的均匀性加以控制，实现膜层均匀性、膜层质量以及产能的明显提高，从而能有效降低成本。

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220166276U

    (45)授权公告日2023.12.12

    (21)申请号202321895198.5(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    (22)申请日2023.07.18

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