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本发明公开了一种晶圆MEMS芯片悬臂梁激光切割机，旨在提供一种结构简单，满足微米级的切割精度以及良好的激光加工效果的激光切割机。本发明包括平台底座、光路平台支架、光路组件以及治具组件，治具组件与光路组件工作端相配合，光路组件包括激光器、固定外光路模组以及升降外光路模组，固定外光路模组包括固定外光路盒、若干第一水平反射镜、激光扩束镜以及第一垂直反射镜，升降外光路模组通过Z轴调焦伺服丝杆模组与固定外光路盒一侧相连接，升降外光路模组包括升降外光路盒、第二水平反射镜和第二垂直反射镜，升降外光路平台下端面
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117206712A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202311464551.9B81C99/00(2010.01)
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