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2023-12-13 发布于四川
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本发明涉及晶圆传送盒清洗技术领域，具体是涉及半自动离心式晶圆传送盒清洗机，包括壳体、以及呈竖直状态固定设置于壳体内的喷淋模块；伺服传动模块呈竖直状态固定设置于壳体内且靠近壳体顶部设置，伺服传动模块的传导端竖直向下设置；旋转支架呈竖直固定设置于伺服传动模块驱动端，旋转支架罩盖设置于喷淋模块外；所述旋转支架上还可拆卸设置有安装支架，安装支架呈竖直状态设置且沿着旋转支架轴线周向等距设置有多组，每组安装支架内还分别可拆卸设置有一组传送盒托载架；锁止元件固定设置于旋转支架底部；本发明不仅可以对不同种类的传

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117206242A

(43)申请公布日2023.12.12

(21)申请号202311276545.0

(22)申请日2023.10.03

(71)申请人上海芯畀科技有限

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