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本发明公开了一种基于多元异构阵列的宽频电容式MEMS声发射传感器及其制作方法，由N个具有不同谐振频率阵元构成，每个阵元又由多个相同的电容式MEMS声发射传感微元并联构成。其中，第l号阵元的中心谐振频率为fl，满足：f1
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117214304A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202311193738.X
(22)申请日2023.09.15
(71)申请人江苏大学
地址212013
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