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本申请涉及一种上部气动组件、晶圆承载装置及化学机械研磨设备。上部气动组件包括：主体板，主体板包括相对的第一表面和第二表面；气路，位于主体板内，自主体板的第一表面延伸至主体板的第二表面的不同区域；校准气孔，位于主体板的第一表面，且与气路相连通；开关阀信号线；开关阀，位于气路内，与开关阀信号线相连接，开关阀用于根据开关阀信号线传送的信号控制气路的通断。本申请的上部气动组件在与研磨头配合使用时，仅通过校准气孔和开关阀即可实现对研磨头压力的校准控制，操作简单，节省时间，简化校准控制过程，且由于不需要插拔
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117207057A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202311236182.8
(22)申请日2023.09.22
(71)申请人上海积塔半导体有限公司
地址2
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