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本发明涉及一种微纳结构及器件的加工工艺，在加工器件之前，均需要把碳纳米管转移至目标衬底：a.将碳管衬底上旋涂一层PMMA电子束胶，其中NWCNT的衬底通常是氧化硅，SWCNT的衬底是石英片；b.在烘箱中100℃烘烤5min使PMMA固化；c.用蓝膜作为边框固定碳管衬底的四周，将衬底放入浓度为1％的氢氟酸溶液中，放置半小时后衬底边角处会形成开口，即可以将附着碳管的PMMA膜与衬底分离；d.将PMMA放入去离子水中，反复更换去离子水3‑5次，每次浸泡10min，以确保氢氟酸残留溶液被完全去除；e
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117228625A
(43)申请公布日2023.12.15
(21)申请号202311454795.9
(22)申请日2023.11.03
(71)申请人无锡旺斯科技有限公司
地址21
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