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本发明公开了一种基于改进鹈鹕算法的晶圆柔性作业车间调度方法及系统,涉及晶圆车间生产调度领域。本发明通过初始化参数,为所有工件进行编码,使用Sobol序列生成初始种群;依次使用启发式规则将工件指派到各个加工机台上,通过第一阶段鹈鹕优化算法对初始种群进行优化,根据个体的最短加工总时长在全局搜索新解;使用变邻域搜索和第二阶段鹈鹕优化算法依次对第一阶段个体进行优化,获得最优调度方案。本发明针对晶圆生产过程中存在的动态到达的晶圆及晶圆工序加工的资源限制条件等,研究了考虑工件动态到达的柔性车间调度问题,提出
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117236608A
(43)申请公布日2023.12.15
(21)申请号202311197726.4
(22)申请日2023.09.18
(71)申请人合肥工业大学
地址230002
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